campo eléctrico en un MOSCAP no ideal

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Considere un MOSCAP con carga fija \ $ Q_f \ $ por unidad de área en la interfaz óxido-semiconductor y la diferencia no cero entre la función de trabajo del metal y el semiconductor. La cuestión es calcular el campo eléctrico en el óxido a voltaje de banda plana. Una forma de abordar este problema es usar el hecho de que el voltaje de la compuerta es la suma de posibles caídas en el metal (que es cero), óxido y semiconductor. Aprovechando el hecho de que, en condiciones de banda plana, la caída potencial en el semiconductor es cero, llegamos a la fórmula $$ E_ {ox} = \ frac {V_ {fb}} {t_ {ox}}. $$ También podemos expresar voltaje de banda plana como: $$ V_ {fb} = \ phi_ {ms} - \ frac {Q_ {f}} {C_ {ox}}. $$ Así, después de otras simplificaciones, llegamos a: $$ E_ {ox} = \ frac {\ phi_ {ms}} {t_ {ox}} - \ frac {Q_f} {K_ {ox} \ epsilon_ {o}}. $$ Sin embargo, otro enfoque es utilizar la ley de Gauss. En condición de banda plana, tenemos densidad de carga y campo eléctrico en semiconductor para ser cero. Ahora, utilizando la ley de Guass para relacionar la discontinuidad en el vector de desplazamiento en óxido y semiconductor, llegamos a $$ D_ {ox} = Q_f. $$ Esto simplifica a: $$ E_ {ox} = \ frac {Q_f} {K_ {ox} \ epsilon_ {o}}. $$

  

¿Qué método es correcto y por qué es incorrecto el otro método?

    
pregunta Inderjeet Nair

1 respuesta

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Tu primera ecuación para el campo eléctrico es incorrecta:

$$ E_ {ox} = \ frac {V_ {fb}} {t_ {ox}} = \ frac {\ phi_ {ms}} {t_ {ox}} - \ frac {Q_f} {K_ {ox} \ epsilon_0} $$

El campo eléctrico es el voltaje a través del óxido dividido por el espesor del óxido. \ $ V_ {fb} \ $ no es el voltaje a través del óxido en la banda plana.

El campo eléctrico correcto (en banda plana) es:

$$ E_ {ox} = \ frac {Q_f} {K_ {ox} \ epsilon_0} $$

Para ampliar esto, asumimos que no hay carga en el metal (supuesto normal para un metal) u óxido (podría haber, pero no hay en esta pregunta) y en banda plana no hay carga en el semiconductor (por definición). El único lugar donde puede haber carga en esta estructura es en las uniones de óxido de metal y metal-semiconductor. La carga puede moverse a la unión de óxido de metal libremente, pero hay limitaciones en la unión de óxido-semiconductor. Para poner carga en este cruce, o bien necesita carga de interfaz, que sabemos que es \ $ Q_f \ $ , o debe poner el semiconductor en acumulación o agotamiento modo. Pero estamos en banda plana, por lo que no estamos en acumulación o agotamiento. Por lo tanto, no hay ningún cargo adicional en la interfaz de óxido-semiconductor, lo que significa que el voltaje a través del óxido no es una función de \ $ \ phi_ {ms} \ $ sino solo una función de \ $ Q_f \ $ . A partir de esto, puede integrar el cargo para obtener el campo eléctrico, que por lo tanto es solo una función de \ $ Q_f \ $ .

    
respondido por el Matt

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