Uso de supercorte para reducir la Fuente Directa para Drenaje de Túneles

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Me preguntaba si alguien tenía alguna idea sobre qué tan útil sería reducir la fuente directa para drenar el túnel mediante la aplicación de voltajes de polarización de puerta negativos en FinFET de menos de 10 nm. ¿Alguien ha visto esto antes?

Por lo que sé, la fuente directa para drenar la corriente de tunelización es una función exponencial de la altura de la barrera, por lo que con tensiones de polarización de compuerta negativas, ¿no aumentaría la altura efectiva de la barrera, lo que resultaría en reducciones exponenciales en la corriente de fuga? p>

Pregunta de seguimiento rápida: si los voltajes de polarización de puerta negativos pueden ayudar a reducir el DSDT, ¿hay algún dato o idea de hasta qué punto podemos reducir la corriente de fuga, dado que con tensiones de polarización de puerta suficientemente negativas la corriente GIDL se convertirá en la corriente? mecanismo de fuga dominante?

    
pregunta ivazar

1 respuesta

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Nunca he visto túneles desde la fuente hasta el drenaje, pero lo he visto en el campo alto que se genera desde el borde del drenaje hasta la puerta. Uso túneles en mis puertas flotantes, así que creo que habría notado los efectos en mis dispositivos de buey delgado. Lo que parece que realmente estás describiendo es la disminución de la corriente de deriva.

Con un FinFET, tienes ese 70mV mágico por década, y no estoy seguro de la cantidad de túneles que existen. Hago dispositivos en un proceso SOI, pero supongamos que tiene un proceso masivo, por lo que podría cambiar la profundidad de agotamiento. Podría cambiar la barrera y, por lo tanto, cambiar el umbral, pero luego tiene que preguntar por qué querría agregar la complejidad cuando solo podría usar un implante de umbral. Tengo 7 umbrales diferentes en mi último kit. Esta es una de esas situaciones en las que sé mucho, pero no puedo decir mucho sobre los números, pero vamos a Kappa = 1, a 70mV por década, si sesgas el pozo en 70mV, obtienes una década de corriente.

    
respondido por el b degnan

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