El método de detención de ataque con Dopant-Selective es donde creamos una capa de boro altamente dopado en el sustrato para detener el proceso de grabado en esa capa exacta, pero cuando se crea esa cavidad los grabadores todavía están allí.
Pregunta: ¿Cómo eliminamos ese grabador?
Si está realizando un grabado en húmedo, utiliza algún otro líquido, generalmente agua, para eliminar el grabado residual. Los sustratos estarán en algún baño de grabado durante el tiempo requerido, una vez que se completa el tiempo, se transfieren a un tanque de enjuague para detener el ataque y eliminar los químicos de grabado residuales.
Los grabados en seco se realizan en una cámara de vacío. Cuando se completa el ataque químico, los gases grabadores se bombean con una bomba de vacío.
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