He estado estudiando MEMS por un tiempo y noté que en casi todos los diseños de acelerómetros hay agujeros grabados en la masa que está unida a la bisagra. ¿Por qué es eso?
Una cosa en la que pensé es que las masas están tan apretadas al empaque que la presión en un lado podría afectar a la masa si se moviera o sacudiera. Pero eso sería fácilmente solucionable al ponerlo en un vacío bajo.
Adjunté un dibujo esquemático de un acelerómetro que usamos.
Los agujeros son aparentemente para controlar la amortiguación. La amortiguación parece ser pasiva en la mayoría de los diseños de acelerómetros, por lo que el flujo de gas a través de los orificios determinará la amortiguación. La amortiguación es importante: no quieres que la masa de prueba rebote demasiado. Idealmente, debería estar más o menos amortiguado críticamente, creo.
Sin los orificios, el mecanismo del flujo de fluido de la película sería diferente, y posiblemente menos lineal, lo que provocaría efectos negativos como la excesiva rectificación de la vibración.
El tamaño del marco refuerza el modo de aceleración del "marco de prueba de masa" a lo largo del eje de la resistencia piezoeléctrica montada en el extremo.
Debido a que la masa de prueba afecta la respuesta de frecuencia, es hueco extender el ancho de banda de masa de resorte con la amortiguación controlada por el material del marco interno.
3 Los miembros estructurales aseguran que la resonancia en el otro eje está muy por encima del ancho de banda del eje del sensor.
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