Evaluando la calidad de las fotomáscaras

La forma más sencilla de evaluar la máscara es simplemente inspeccionarla visualmente, como usted dice que ya ha hecho. Asegúrese de echar un vistazo a las características críticas (es decir, las más pequeñas) para asegurarse de que la máscara se vea como espera. Con un buen microscopio de luz con alto objetivo de NA, puede obtener una resolución de submicras en imágenes ópticas.

Otra cosa que puede verificar si realmente desea profundizar en la evaluación de la calidad de la máscara es medir la consistencia de la altura de sus características. Si las características de la máscara no presionan contra la resistencia uniformemente en toda la oblea, algunas áreas de la oblea podrían quedar expuestas de manera desigual. Puedes mirar esto con un perfilómetro o incluso con SEM si quieres realmente meterte en la maleza.

Dicho esto, probarlo en el proceso real es la mejor manera de examinar la calidad. En mi experiencia, normalmente tengo que exponer un par de obleas de prueba para optimizar el tiempo de exposición de todos modos, por lo que esto proporciona una prueba integrada de la máscara. Tener una rejilla de exposición con características de diferentes tamaños puede facilitar este proceso un poco.