Mantener el circuito del amplificador para el oscilador MEMS

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Un oscilador MEMS se puede modelar como un amortiguador de resorte de masa concentrado con una alta frecuencia de resonancia y un factor Q.

Según Wikipedia "Todos los osciladores MEMS comerciales usan transducción electrostática". Es decir, el movimiento del resonador se detecta con un condensador. Un amplificador electrónico de sustentación detecta el movimiento del resonador y genera energía adicional en los resonadores que impulsan el resonador en una oscilación continua.

¿Qué es un circuito simple que logrará esto? Necesito un circuito que conduzca el oscilador a su frecuencia de resonancia. Necesito el circuito más simple posible, solo para fines de modelado matemático, por lo que no me interesan las características avanzadas ni las consideraciones prácticas.

    
pregunta Blue7

1 respuesta

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Intenta esto aunque estoy un poco fuera de mi profundidad: -

Elresonadormemsdearribapareceundoblevoladizoparamíyparecequelaentradaylasalidaserealizanatravésdeunacoplamientocapacitivo(consulteelelectrododeaccionamientoyelelectrodosensor).Ladimensiónde50umestáenunodelosvoladizosy,meimaginoquesumovimientocreaunefectodetorsiónenelelectrodosensor,loquealteralacapacitanciaygeneraunaseñaldedeteccióncuandosepolarizaconCC.

Aquí es un documento útil (titulado CMOS Resonador Micromecánico del oscilador) que tiene un diagrama importante que pone en perspectiva lo que dije anteriormente:

Tambiéncontienelaimagenacontinuaciónqueproporcionauncircuitodeinterfazdetallado:-

  

¿Qué es un circuito simple que logrará esto? Necesito un circuito que   impulsará el oscilador a su frecuencia de resonancia. Necesito el   El circuito más simple posible, solo para fines de modelado matemático,   Así que no estoy interesado en características avanzadas o prácticas   consideraciones.

Ah, si todo en la vida fuera simple pero quizás el circuito en este documento (titulado Dependencia de la amplitud de la unidad) de micromecánica Resonator Series Motional Resistance) ayudará: -

Hayalgunosotrosdocumentosenumerados aquí

    
respondido por el Andy aka

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