La limpieza con solvente (o solución) de obleas limpias incluye lavado con acetona, lavado con alcohol isopropílico (IPA) y lavado con agua desionizada (DI), seguido de secado en nitrógeno.
¿Cuál es el propósito de usar agua desionizada? ¿No aumenta la humedad general (no deseada) en la oblea?
La acetona es higroscópica. Así es el isopropanol. Tampoco será completamente sin agua, por lo que el agua siempre debe eliminarse por evaporación. La dificultad es, si hay algún sólido iónico presente, AQUELLOS permanecería después de la evaporación (y si esos sólidos son higroscópicos, El 'secado' sería temporal, un pequeño charco conductor de agua salada. puede volver a ocurrir más tarde). Entonces, el agua de enjuague no necesita ser 'pura', un poco de alcohol en ella no dolerá. Pero no debería ser (por ejemplo) salado.
El agua desionizada es barata y desechable, y (junto con un 'cuchillo de aire' u otro esquema de eliminación de gotas) moviliza contaminantes iónicos y los quita de la oblea.
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