¿Cómo se hacen las lentes y otros aparatos necesarios para proyectar una versión miniaturizada del circuito utilizando la técnica fotográfica litográfica para la fabricación de circuitos integrados?
¿Se sabe que incluso la menor cantidad de polvo puede arruinar un chip completo, por lo que se asegura de que la lente esté perfectamente limpia y sin distorsiones ni arañazos que puedan arruinar la proyección?
En realidad, en su mayor parte, el polvo en la superficie de la lente no producirá resultados intolerables en la oblea. En la superficie de la lente, la imagen que se está proyectando no está enfocada, por lo que una partícula de polvo no producirá una imagen de la partícula en la oblea.
El ejemplo cotidiano de esto solía llamarse "efecto de puerta de pantalla", aunque no le moleste a Google, ya que el significado del término ha cambiado. Solía referirse al hecho de que una puerta de pantalla puede ser ópticamente opaca desde la distancia, pero transparente de cerca. Coloque la nariz contra una puerta de la pantalla y no podrá ver el patrón de la pantalla.
Lo que ves es un ligero desenfoque. Esto significa que la limpieza está, como dice el dicho, junto a la piedad, particularmente en habitaciones limpias. Por lo tanto, un proyector resistente se someterá a una limpieza escrupulosa antes de que se instale: es probable que un solo punto en la superficie de la lente no cause problemas importantes.
Las lentes son de hecho una parte muy importante de las máquinas de litografía. Además, no solo se usa una lente, sino una variedad de lentes diferentes para obtener los mejores resultados.
Sin embargo, a excepción de la óptica, existe un sistema gigantesco y complicado construido a su alrededor con una compensación de hardware y software de todo lo que pueda imaginar, como la temperatura, la presión y la forma de las obleas.
La litografía moderna, que utiliza luz EUV, es bastante grande, como el tamaño de una sala de estar, no solo las lentes deben estar limpias, sino todo el sistema, ya que la luz atraviesa el sistema, pero la mayoría de las partículas no deberían estar presentes. partes del sistema, ya que pueden / degradarán o arruinarán las matrices.
Clase 16 - Introducción a la litografía óptica puede dar una idea de lo que está buscando con más detalle.
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