¿Cuál es el significado de los pisos primarios y secundarios en las obleas?

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Estoy confundido acerca de cómo la orientación de los planos primarios y secundarios representa la orientación del cristal del semiconductor. Miré este sitio mencionado en esta respuesta :

  

El plano primario tiene una orientación de cristal específica con respecto a la superficie de la oblea; Piso mayor.

¿La "orientación específica del cristal" es la misma para todas las obleas? ¿Qué es "mayor plana"?

  

Plano secundario Indica la orientación del cristal y el dopaje de la oblea.

¿Cómo hace eso? Por ejemplo, ¿qué representa un ángulo de 45 ° entre los planos primario y secundario? ¿Existe una correspondencia física real entre los ángulos planos y la orientación del cristal? ¿O es solo por convención?

    
pregunta hazrmard

1 respuesta

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No existe una relación física entre los pisos y la orientación o dopaje de la oblea. Es puramente convencional.

El plano primario (grande) indica la orientación de los cristales y, si está presente, el plano secundario (más pequeño) indica el dopaje.

Losnúmerosentrellavessonel Miller Index de la orientación del cristal.

Esta convención solo se utiliza en obleas más pequeñas (< 200 mm). Los más grandes usan una muesca para indicar la orientación y no incluyen información de dopaje.

    
respondido por el Majenko

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