¿Qué tipo de microscopio se usa para ver el flujo electrónico en un microchip?

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He encontrado una imagen, donde cualquiera puede ver el flujo de electrones en un microchip activo (especialmente en el camino de conducción). Es sorprendente ver ese flujo eléctrico, por lo que me gustaría saber qué tipo de microscopio se usa para eso. ¿Puede alguien ayudarme por favor?

    
pregunta Jorgos

4 respuestas

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Los microscopios electrónicos convencionales, SEM, pueden "ver voltaje" en las superficies conductoras cuando se ajustan a la derecha. He visto fotos fijas antiguas de la década de 1970 en las que se ve una unión de diodo invertida y donde la metalización tiene un color negro o plateado según la carga de la superficie. Siempre me he preguntado si alguna vez usaron esta técnica para observar la lógica de reloj lento. (El e-beam puede inyectar carga negativa e interferir con analógicas o con cualquier entrada flotante).

Simplemente fui a buscar, e inmediatamente encontró un video en YouTube de señales animadas de voltaje , un anuncio del sistema SEM de alguien. .

Aquí hay una versión mucho más antigua: secciones de transistores MOS vistas con SEM. Busque las palabras clave "contraste de voltaje", también VC-SEM

    
respondido por el wbeaty
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Eso no es el flujo electrónico, son las capas de metalización en la matriz.

En general, para una litografía de mayor tamaño, un microscopio óptico normal es completamente suficiente.

No estoy seguro de lo que quieres decir con "flujo eléctrico". Si estás diciendo que puedes ver la actividad eléctrica de un IC activo, no he visto nada de eso.

    
respondido por el Connor Wolf
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Creo que esta es una visualización indirecta de la corriente a través de imágenes térmicas; es decir, lo que ves es la calefacción Joule. La imagen térmica en sí misma podría ser a través de un AFM o algo más burdo según la escala a la que nos referimos eso no está claro a partir de la pregunta.

El AFM generalmente se puede usar solo para la temperatura de la superficie; para temperatura debajo de la superficie hay Microscopía de onda térmica de barrido (STWM) ; se ha utilizado para VLSI.

Nuevamente, dependiendo de la escala, podría ser algo tan simple como un macrolens IR. La línea directa en el centro de abajo es una traza de PCB.

Imagende: enlace

En cuanto a escanear la microscopía térmica, puede hacer cosas mucho más detalladas con esto, como por ejemplo, :

(paraelfondo,estos nanohilos son "FET sin empalmes" ). Esta técnica de visualización se utilizó en MOSFET "clásicos" , hace una década, pero el B & Las imágenes W en ese papel son de baja calidad (escaneadas con mal contraste por IEEE).

    
respondido por el Fizz
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Debe ser un microscopio de fuerza atómica . Son el único tipo que podría obtener una resolución y sensibilidad razonables en dicha aplicación.

    
respondido por el Ignacio Vazquez-Abrams

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