Hay muchas maneras de hacer esto, dependiendo de su propósito y su capacidad de prueba. Dicho esto, recomendaría fabricar una tabla con una estructura de prueba y luego usar simulaciones de EM para hacer el resto. Construya un modelo EM para que coincida con su medida, luego haga todo lo demás en simulaciones. Si solo está mirando un capacitor de placa paralela, debería ser fácil obtener una figura de capacitancia de hoja.
La estructura de prueba podría ser un simple condensador de placa (simple sería elegir un cuadrado de un tamaño razonable) en un entorno de guía de onda coplanar (CPW). Ejecute la línea de CPW hacia el borde de la placa y use un conector coaxial de lanzamiento final atornillado según su rango de frecuencia de interés (SMA es bueno a 18GHz, 2.92mm es bueno a 26.5GHz, 2.4mm bueno a 40GHz, etc ...).
Fuente
También podría romper con una estructura de almohadilla GSG y usar una sonda GSG RF.
Fuente y un artículo útil sobre el sondeo de RF de Microwaves101
Editar:
Por sus comentarios, parece que está más interesado en la impedancia de los planos de potencia desde la perspectiva de un IC (para fines de desacoplamiento o similar). Como mencioné, la impedancia "para [el] PCB completo" no es necesariamente la misma dependiendo de dónde la pruebe. Es probable que lo que quieras es un conjunto de puntos de prueba cerca de donde estarás desacoplando tu IC, y es probable que puedas resolverlo con solo una sonda GS o SG RF tocando las dos almohadillas.