Esta será una respuesta "Meta" que se refiere a las otras respuestas para corregir algunos conceptos erróneos.
Durante la fabricación de VLSI, se utilizan diferentes resoluciones de litografía en los distintos niveles y SOLAMENTE los detalles más modernos y más finos se utilizan en el nivel de definición GATE. Incluso los pasos anteriores a la definición de Poly Silicon se realizan con herramientas de litografía más antiguas (como la definición de área activa STI - LOCOS, etc.).
La razón es muy simple, ¿por qué usar las herramientas más avanzadas (y, por lo tanto, las más caras) que usan las máscaras más caras para definir capas que inherentemente necesitan menos resolución?
De hecho, top Metal tiende a ser muy grueso para soportar más corriente para evitar la migración eléctrica y para reducir la resistencia de los rieles eléctricos.
Por ejemplo, en un proceso de 180 nm, la puerta se define utilizando una litografía basada en láser de KrF a 248 nm con una máscara de cambio de fase 5X. Esto también se utiliza para los contactos. El Metal 1 se puede hacer en un paso a paso que el uso de i-line @ 365nm y también una máscara 5X, pero sin corrección de fase aplicada.
El punto es que las capas superiores del chip tienen una resolución mucho más baja y un tono mucho más alto que lo que el proceso se "define como", e incluso esa definición se vuelve más funky muchas veces.
El top metal podría tener un tamaño mínimo de características tan grande como 3um en el proceso de 180 nm anterior, lo verifiqué.
La pasivación del troquel superior suele ser Si3N4 o poliimida. Que se ha eliminado en esas fotos.
Lo más probable es que esas imágenes sean en realidad imágenes de luz visible tomadas en un microscopio. Los colores pueden deberse a que la altura de las estructuras es del orden de la longitud de onda de la luz y tiene efectos difractivos. Pero como no tenemos escala, no es seguro ser definitivo.
Pero podría tratarse de un micrógrafo electrónico que se ha coloreado por "belleza". Parece que viene de la portada de un libro, y quién sabe qué hace allí el departamento de arte.
Por lo tanto, no estoy dispuesto a decir que es óptico o SEM. @ W5VO observa que la profundidad de campo parece demasiado grande para la óptica, y estoy de acuerdo. Si no sabemos la escala aquí, esa estructura podría fácilmente ser de 10 micrones, dada la era.
Nunca he oído hablar de un micrograma de electrones: según las convenciones de nomenclatura estándar que se traducirían en un "pequeño mensaje de electrones", tampoco puedo encontrar enlaces a ninguna cosa que mencione eso. Así que me encantaría escuchar lo que podría ser.