Así que quiero estructurar una guía de onda coplanar por litografía, VNA - coaxial - picoprobe - transición de guía de onda coplanar para medir la impedancia de la guía de onda. Como las líneas de señal y tierra están en una superficie, en comparación con, por ejemplo, a cpw sin plano de tierra, uno debería poder terminar la guía de onda con 50 ohmios al final de la oblea?
Encontré algunas formas insinuadas de hacer esto, por ej. Diferentes geometrías de talón, o una antena o resistencia como carga de terminación. El último que conozco de los cables BNC, los topes de terminación de 50 ohmios. La geometría de stub correcta probablemente se encuentre en algo como CST Microwave, Sonnet, HFSS? Mi CPW consiste en oro grueso de 100 nm, ancho 15 micrones, espacio de 10 micrones, 1-2 mm de longitud, 1-2 GHz.
Encontrar un material capaz de ser depositado con precisión y resitividad para producir 50 ohmios para esta demanda geométrica parece difícil, como en la parte superior derecha de la imagen. La parte inferior izquierda es mi suposición, pero es probable que esté equivocada, causando reflexiones debido a las líneas de terreno dobladas a 90 ° antes de terminar en el talón, por lo que tal vez deba diseñarse un estrechamiento como en la parte inferior derecha o una bobina pequeña similar a una antena.
Hay tal vez una solución más fácil para esta terminación en el troquel, tal vez usar líneas no balanceadas o acopladas (lo siento, no sé el nombre exacto, básicamente CPW con 1 señal y 1 línea de tierra). ¿Quizás sea más fácil diseñar geométricamente un adaptador / antena / resistor de terminación al final?