Fabricación VLSI: ¿Por qué se usa el aluminio y el cobre para las capas de metal?

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  1. En el proceso habitual de fabricación VLSI, ¿por qué se usó aluminio para metal? ¿Las capas aunque el cobre y el oro tienen mejor conductividad?
  2. ¿Qué conduce a la tendencia hacia el cobre para las capas metálicas en los últimos años (en lugar de aluminio)?
pregunta VSB

1 respuesta

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enlace proporciona algunas respuestas:

  • el aluminio era más fácil de depositar; se tuvo que desarrollar un nuevo proceso para el cobre.
  • el cobre arruina el comportamiento del semiconductor del silicio si se filtra hacia él, por lo que parte del desarrollo del proceso es el sellado para mantener el cobre fuera.
  • el beneficio de conductividad no es tan grande como podría pensar.

Sin embargo, en los dispositivos modernos de alto consumo de energía, es importante tener ese poco más de conductividad. Se ha invertido tanto esfuerzo en hacer que el cobre funcione.

    
respondido por el pjc50

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