Hice esta pregunta hace unos días, pero no creo que fuera lo suficientemente claro, así que intentaré nuevamente.
Aquí hay un diagrama aproximado de mi sistema de sputtering:
Básicamente,unafuentedevoltajedeCCmantieneelsustratoaungranvoltajenegativo(~-1000V)enrelaciónconelchasisdelacámara(Vs)yunsuministrodecorrientedeCCimpulsaunagrancorriente(~120A)atravésdeunplasmaenelchasisysustrato(It).Solounapequeñafraccióndelacorrientetotaldeplasmapasaatravésdelsustrato(~2Adeltotalde120A).Lamayorpartedelacorrientepasadirectamentealchasis.Entonces,paraaclarar,haydosfuentesdealimentación.Elsuministrodevoltajeproporciona-1000Valsustratoatravésdelcualpasan~2A.Elsuministroactualproporciona120Aatravésdelobjetivo/plasma(aaproximadamente20V).
Laresistenciaentreelchasisylatierraindicaqueelchasisestámalconectadoatierra.Además,laresistenciadebetomarsecomovariableyaqueelflujodecorrienteatravésdelchasisdeaceroinoxidablefluctúa,loquesignificaquelatensióndelchasisenrelaciónconlatierrafísicafluctúasignificativamenteconeltiempo.
Aquíestáelproblema:quieromedirelvoltajeentreelsustratoyunpuntoenparticularenelchasissinmedirelvoltajedebidoalagrancorrientequefluyeatravésdelchasis.Lamediciónnotienequesermuyprecisa,soloseusacomounaverificación(esdecir,+/-5Vestábien).
Enestemomento,estoselograutilizandounDMMalimentadoporbateríadeFluke.Dadoqueesalimentadoporbatería,haceunamedicióndiferencialflotantereal.Loquemegustaríahaceresreemplazarestemedidordemanoconunasoluciónsinbateríaquetambiénsepuedeconectaraunacomputadoraparafinesderegistrodedatos.Penséquetalvezelusodeunadaptadordeparedde110VCAa9VCCquepudieraengancharseenlosterminalesdelabateríadeFlukepodríaserunaidea,perocreoquenohayaislamientoeléctricoyquetodalacorrienteenelchasissedescargaríaatravésdeFlukehastalatomadetierra..
¿Alguienpuedesugerirunenfoque?Soybastanteignoranteacercadeestascosas.Heintentadoleersobreeso,peronopuedoaveriguarnadaquepuedafuncionar.Sipuedoaclarardealgunamanera,meencantaría.Cualquiersugerencia(incluyendo"eres estúpido. Esto nunca puede funcionar") sería apreciada!
Muchas gracias de antemano, Brian