Me dirijo a CNF ( enlace ) en breve.
Es una instalación de sala limpia para usuarios para procesamiento de semiconductores.
Mi objetivo es hacer algunas muestras muy simples, para usar en los laboratorios de enseñanza para estudiantes.
Tomaré las obleas de Ge y Si
y escupir o evaporar metal sobre ellos. La primera tarea es hacer ohmico.
Contactos para medidas de transporte. (Efecto Hall y conductividad.)
Luego tuve la brillante (o tonta) idea de hacer también no-óhmico (Schottky)
Contactos a la muestra. Uno puede hacer mediciones de CV y obtener un tercero.
Medida de la densidad de dopaje. Además de tener un diodo incorporado.
Podría ser utilizado como un sensor de temperatura.
Mi primer viaje allí fue tremendamente exitoso.
Rocié dos puntos de titanio seguidos de aluminio en las muestras.
y luego se evaporaron dos puntos de Al solo.
Table of results:
Sample Ti/Al Al only
Si-p diode w/anneal ohmic contact
Si-n ohmic diode w/anneal
Si-int. ohmic (unsure.. I broke it.)
Ge-n ohmic ohmic
Ge-int ohmic some diode behavior.
Poor adhesion.
La muestra I-V se realizó de nuevo en Buf. Y luego las muestras se recocieron hasta
300C en un plato caliente. A excepción del Ge intrínseco, la adhesión del metal fue buena.
(Todos pegaron la prueba de cinta adhesiva).
Debo decir que el titanio parece ser un buen metal para los contactos.
OK después de esa introducción algunas preguntas.
Siento que estoy reinventando la rueda, he hecho muchas lecturas en línea y en la biblioteca
pero no hay muchos consejos prácticos para hacer contactos con semiconductores.
(Hay mucha teoría). Me sigo preguntando si hay algún antiguo técnico de Bell Labs
Documento que podría ayudarme. Si alguien sabe algo así, espero que lo compartas.
Todavía me gustaría hacer un diodo con Ge. ¿Alguna idea de un metal para probar?
Al sondear las muestras de Ge con pogo dorado, se veía como si el oro hiciera una rectificación
contacto. Pero supongo que el oro no se adhiere muy bien. Pensé que probaría el indio.
El metal Ti / Al sobre Si desarrolló una capa negra alrededor de los bordes.
Supongo que esto es oxidación del Al.
Y voy a probar Oro para la capa superior.
Por último, ¿hay otras cosas / experimentos
¿Podría hacer / intentar poner metal en semiconductores?
Debo añadir que los diodos muestran una buena respuesta fotográfica.
Gracias por leer esta pregunta bastante larga.
Editar: agregando un enlace a las curvas I-V (I es el eje vertical (y), chan. 2, con la ganancia mostrada). enlace Disculpe las fotos de laboratorio desordenadas, ahora tengo palos de pogo en mi "estación de sondas".