Creo que alrededor de 10 para los nodos de proceso por debajo de 130nm sería una suposición correcta en el campo de juego. Wikipedia tiene una lista bastante completa de plantas de fabricación de semiconductores con algunos detalles faltantes (es decir, nodos de proceso para fabricantes TSMC) no se especifican.)
La producción de equipos para estas fábricas, como bien ha adivinado, no es un negocio de gran volumen. Sin embargo, es un negocio especializado que tiene un mercado de $ 33B que no es en absoluto pequeño. El 70% de este mercado está dominado por 10 empresas, que se enumeran en Wikipedia .
No creo que vaya tan lejos como para decir que es una industria casera.