La curva de CV para el condensador MOS proporciona una capacitancia negativa a alta frecuencia (800 KHz y superior). Este no es el caso para las frecuencias más bajas (menos de 500KHz). Estoy midiendo la densidad de las trampas de interfaz para Si / SiO2 utilizando la curva CV en las frecuencias altas y bajas. Si alguien sabe por qué recibo la capacitancia negativa y cómo puedo resolver el problema, será muy útil.
La capacitancia está siendo medida por el equipo de caracterización CASA1500. Se está utilizando la configuración específica de barrido de CV. El rango de voltaje es de -3V a 3V. Genera una pequeña corriente alterna cuya frecuencia se puede cambiar. Luego, el dispositivo varía el voltaje a través del capacitor MOS en el rango de -3 a 3 y mide la capacidad respectiva. El voltaje se incrementa en un paso a 30mV.